半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件高档次测封智能化涉重污水——MVR禁止循坏零排好项目
大型项目历史背景
半导体器件行业中低端测封的活动,投资规模150立米米/天,是首支半导体器件行业测封配置涉重废渣零排的活动。测封阶段的镀镍、镀铜、引线构架清洁会发生含镍含铜废渣,该项目条件"无尾水外排",产水所有 造纸废水处理于产线。
水质监测有特点与困惑
废气以含镍居多(浓度值10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH震荡大(2–12),还是光刻胶余留的小量设计物。首测厂基地紧,规定除理措施占地赔偿小;零排代表着着浓水不会清运太大,需本地人化掉心得闭环控制。
操作工艺技术途径
局部走"分质分类整理 → 预加工除杂 → 化学式结晶除镍 → 过虑 → UF+多级RO → MVR强制性要求无限循环化掉 → 冷疑水回收":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢混炼钠添加Ni(OH)₂水解,多加混炼钠深层次捕集器残留物镍(混炼镍Ksp比氢混炼镍更小,能能镍压到0.1毫克/升下述);
沉淀出的出水出水经多物质脱水器+保安队脱水器后进UF,再进一个RO,产水之间回产线的清洗;
RO浓水(含盐+残留物巨资属)进MVR被迫间歇冷疑器掉器,被迫间歇能扛高含盐积灰,冷疑器掉器自帶线下清晰,容易堵;
MVR冷却水水回来工业废水处理池子,蒸馏残液委外焚烧秸秆或成为危险废物正确处理,一个场区无固体外排。
核心设施优越性原因分析
MVR硬性反复的相对比普通的降膜化掉器,反复的流体密度高、换热面不可以结镍盐/碳酸盐垢,适于测封一些"发电量不但水硬度杂"的场地;立体式化撬装设计情况报告占地面比过去的化掉器塘+多效化掉器情况报告小60%及以上;臭味侧相互配套生物工程滤池,把上下调整池和污泥处理间的臭味汇集后挥发成CO₂和水,应对测封厂挨着会议室区的有异味举报。
治疗疗效与效果
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《真空镀膜生态破坏物尾气排放量标淮》表三;另一个150立方米/天产水循环于公测产线洗,重复使用等量剥好水;危废处理(蒸发掉残液+废水)量比传统的"析出+尾气排放量"状态减约70%。对富士康侧,公测项目流程环保性监管卡点被揍通;