某半导体设备制做各个企业因晶圆家电清洗工艺技术导致含氨废水鑫霖环保，供水量200吨/天。废水鑫霖环保中除氟化物外还富含氟化物和轻微高价属，加工的难度大。各地排放物的标准规范要求氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 组成及来原 晶圆擦拭废气（其主要由来）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀步骤焦化废水：含微量分析铜、镍等高价属，pH值振幅大 CMP精磨污水：含硅科粒及挥发酚 正确处理施工工艺工作流程 所采用"催化沉淀物+膜分离出来+折点氯化"搭配加工过程： 预补救 ：加药CaCl2除氟，把握pH在7.5-8. 反渗透膜设备 ：除去0.01μm以上内容顆粒物 反融入萃取 ：将氯离子提液至1000mg/L左右 折点氯化 ：精准度的控制氯污泥脱水量，将高锰酸盐指数转变为离氮气 阴离子相互交换 ：保驾护航血本属及格 从而体验 氯离子平稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含量如果低于论文检测限 水回收率达75% 工业废水引发量增多40%