某半导加工器制作厂在晶圆粗加工具体步骤中,食用硅烷去硅外延性繁殖,废气洗衣塔产生了高溶液浓度含硅废污水。废污水兼有pH波动性大(2-11)、硅硫含量高的优势特点,普通加工最简单的方法易出来硅垢空气能管道堵塞原因。
电镀废水材料及因素
电镀废水主要是组成成分为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢脱色钠
:洗衣机清洗塔酸碱平衡洗衣机清洗液无残留
粒状硅
:奈米级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:塑料原材料残渣携带
操作技术具体步骤
多元化通过"两极中合+膜过滤水+汽化结晶体"工序:
二级采和
:用CaO控制pH至4-5,转化硅酸钙发展,硅清除率60%。
二次元采和
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进一点结晶超过硅,串联用镁剂除砷。
超滤膜控制系统
:0.02μm瓷砖膜过滤装置納米级硅颗粒物,通量安稳在80LMH。
MVR汽化器
:萃取高盐废气,晶粒出Na₂SO₄副物品,水造纸废水处理率超90%。
不可能结果
总硅从1500mg/L降低5mg/L下列
砷纯度从0.8mg/L降为0.01mg/L
设计无积灰运转多于2年
年均收回浓盐酸钠结晶体约800吨